超薄面板制造系统专利登记公告

专利名称：超薄面板制造系统

摘要：本发明涉及一种将诸如显示面板的面板蚀刻为超薄板的技术，用于使大面积面板具有良好的表面粗糙度、厚度均匀性、透明性，同时适于生产。本发明提供一种超薄面板制造系统，在碱性溶液中初步洗涤显示面板，将16μm/分作为蚀刻速度的上限，以下降流方式进行蚀刻，以使具有良好的表面粗糙度，最终洗涤之后用影像检查表面，以非接触方式检查厚度，为了弥补脆弱性附着保护薄膜，然后进行后续的工艺。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110391330.4

专利申请（专利权）人：诺发光电股份有限公司

专利发明（设计）人：黄龙云;姜东昊

主权项：一种超薄面板制造系统，其特征在于，包含如下步骤：在碱性溶液中初步洗涤显示面板；竖直地放置完成所述初步洗涤的显示面板，使包含F+离子的蚀刻溶液流过，以进行使厚度变薄的蚀刻；最终洗涤完成所述蚀刻的显示面板；检查完成所述最终洗涤的显示面板的表面；测量完成所述表面检查的显示面板的厚度；以及在完成所述厚度测量的显示面板上附着保护薄膜，其中，所述蚀刻步骤中，控制显示面板的厚度蚀刻速度，用以控制表面粗糙度。

专利地区：韩国