浮起式涂敷装置专利登记公告

专利名称：浮起式涂敷装置

摘要：本发明提供一种浮起式涂敷装置，在浮起台加大划分浮起台组块的边界(接缝)的台阶的容许度，能够简便并且短时间进行浮起面的高度位置调整作业。在浮起台(10)中，左端的搬入用浮起台组块(SBA)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第一粗略浮起区域(MIN)。在中间的浮起台组块(SBB)局部搭载在输送方向(X方向)的两端部设置多个仅有喷出口(12)的上推浮起区域(MP、MQ)，并且在这些之间搭载混合多个配置喷出口(12)和吸引口(14)的精密浮起区域(MCT)。此外，在右端的搬出用浮起台组块(SBC)搭载配置多个仅有喷

专利类型：发明专利

专利号：CN201210071525.5

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：稻益寿史;宫崎文宏

主权项：一种浮起式涂敷装置，其特征在于，包括：浮起台，在连接配置的物理上能够分离的第一浮起台组块和第二浮起台组块分别搭载粗略浮起区域和精密浮起区域，在所述精密浮起区域的大部分区域，基板以适宜涂敷处理的精密的第一浮起高度浮在空中，在所述粗略浮起区域，所述基板以比所述第一浮起高度更大的粗略的第二浮起高度浮在空中；基板输送部，将所述基板以能够装卸的方式保持，并将所述基板按照所述粗略浮起区域和所述精密浮起区域的顺序在所述浮起台上输送；和处理液供给部，具有在所述精密浮起区域内的规定位置，向着浮在所述第一浮起高度的所述基板的

专利地区：日本