大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置专利登记公告

专利名称：大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置

摘要：大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，包括依次相连的射频电源、双向功率表、阻抗匹配网络和电极接头，金属电极安装在电极接头上，金属电极采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，金属电极分为绝缘部分和放电部分，在金属电极的末端设置有气体供给系统。由于普通的等离子体放电采用的双极放电机构，其空间结构固定，作用于待处理物时因为结构固定有一定的缺陷。而本发明采用的单极放电结构能很好的规避这种缺陷，它是以周围物体作为对应的电极，从而产生等离子体作用于待处理物。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110393752.5

专利申请（专利权）人：西安交通大学

专利发明（设计）人：李兵;王超;姜涛;蒋勋;赵会娜

主权项：大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，其特征在于：包括依次相连的用于提供射频功率输出的射频电源(1)、测量并显示前向和反射功率的双向功率表(2)、实现整个系统阻抗匹配的阻抗匹配网络(3)和电极接头(4)，金属电极(5)安装在电极接头(4)上，金属电极(5)采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，其直径为0.2mm～1.5mm，金属电极分为绝缘部分(5?1)和放电部分(5?2)，在金属电极(5)的末端设置有气体供给系统，放电部分绝缘部分(5?1)外周涂有绝缘涂层，绝缘涂层的厚度为0.

专利地区：陕西