一种控制锗纳米微结构尺寸的方法专利登记公告
专利名称：一种控制锗纳米微结构尺寸的方法
摘要：本发明涉及一种控制锗纳米微结构尺寸的方法，通过热氧化法实现相应纳米微结构尺寸的减小，通过控制氧气分压及反应温度，使锗与氧气反应生成易挥发的一氧化锗，达到控制锗纳米结构尺寸的目的。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110399431.6
专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
专利发明（设计）人：王盛凯;刘洪刚;孙兵;薛百清;常虎东;赵威;卢力;王虹
主权项：一种控制锗纳米微结构尺寸的方法，其特征在于,通过热氧化法实现相应纳米微结构尺寸的减小。
专利地区：北京
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