使用静电力的基板组件载具专利登记公告

专利名称：使用静电力的基板组件载具

摘要：一种便携式静电吸盘载具包括：支持架，具有电介质顶面；和双极电极，位于电介质顶面的下方。双极电极包括：正电极和与正电极电绝缘的负电极。以交替方式将正电极和负电极分布在与电介质顶面基本平行的平面内。本发明还提供了一种使用静电力的基板组件载具。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110419098.0

专利申请（专利权）人：台湾积体电路制造股份有限公司

专利发明（设计）人：萧义理;余振华;刘重希;黄见翎;黄英叡

主权项：一种器件，包括：便携式静电吸盘载具，包括：支持架包括：电介质顶面；以及双极电极，位于所述电介质顶面的下方，其中，所述双极电极包括：正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，所述正电极和所述负电极以交替图案分布在与所述电介质顶面基本平行的平面内。

专利地区：台湾