一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法专利登记公告

专利名称：一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法

摘要：本发明公开了一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下步骤：(1)将待处理硅片放于扩散炉中，升温至750~830℃；(2)待温度稳定后，使炉内各温区的温度均升至800~880℃，升温的同时通入0.4~3L/min的携HCl气体；(3)停止通入携HCl气体，只通入0.4~3L/min的干氧；(4)同时通入携磷源气体和干氧进行扩散；(5)停止通入干氧和携磷源气体，只通入0.4~3L/min的携HCl气体；(6)停止通入携HCl气体，只通入0.4~3L/min的干氧；(7)降温出舟。本发明避免了现有工艺中由于在

专利类型：发明专利

专利号：CN201110420482.2

专利申请（专利权）人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司

专利发明（设计）人：王永伟;党继东;贾洁静;费正洪;徐义胜;孟祥熙;辛国军;章灵军

主权项：一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)?将待处理硅片放于扩散炉中，升温至750~830℃，炉内环境为氮气气氛，氮气流量8~30?L/min；(2)?待温度稳定后，使炉内各温区的温度均升至800~880℃，升温的同时通入0.4~3?L/min的携HCl气体，时间为10~40?min；(3)?停止通入携HCl气体，只通入0.4~3?L/min的干氧，时间5~20?min；(4)?同时通入携磷源气体和干氧进行扩散，扩散时间为10~40?min，所述携磷源气体的流量为0.4~3?L/m

专利地区：江苏