嵌段共聚物自组合方法及由此形成的图案专利登记公告
专利名称：嵌段共聚物自组合方法及由此形成的图案
摘要：本发明涉及嵌段共聚物自组合方法及由此形成的图案。提供了图案化的基板模板，以及包括合并了光刻和自组合技术的方法。该图案化的基板可以包括第一和第二图案。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110420757.2
专利申请（专利权）人：希捷科技有限公司
专利发明（设计）人：S·肖;X·杨;Y·徐;L·万
主权项：一种方法，包括：进行光刻以在基板上形成第一图案；以及进行嵌段共聚物自组合以在所述基板上形成第二图案。
专利地区：美国
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