用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物专利登记公告

专利名称：用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物

摘要：本文公开一种用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物，以所述组合物的总重量计，所述组合物包括：过氧化氢5～30wt％、含氟化合物0.01～5wt％、可溶于水的环胺化合物0.1～5wt％、无机酸0.1～10wt％和余量的水。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110427483.X

专利申请（专利权）人：东友FINE-CHEM股份有限公司

专利发明（设计）人：李友兰;李石;李铉奎;李恩远

主权项：一种用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物，其特征在于，以所述组合物的总重量计，所述组合物包括：过氧化氢5～30wt％；含氟化合物0.01～5wt％；可溶于水的环胺化合物0.1～5wt％；无机酸0.1～10wt％；及余量的水。

专利地区：韩国

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