用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物专利登记公告

专利名称：用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物

摘要：本发明公开一种用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物，基于该组合物的总重量，该刻蚀溶液组合物包括5～30wt％的H2O2、0.01～5wt％的含氟化合物、0.1～5wt％的可溶于水的环胺化合物、0.01～10wt％的无机酸、和余量的水。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110428014.X

专利申请（专利权）人：东友FINE-CHEM股份有限公司

专利发明（设计）人：李友兰;李石;李铉奎;郑敬燮

主权项：一种用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物，其特征在于，包括：基于该组合物的总重量，5～30wt％的H2O2；0.01～5wt％的含氟化合物；0.1～5wt％的可溶于水的环胺化合物；0.01～10wt％的无机酸；和余量的水。

专利地区：韩国