采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途专利登记公告

专利名称：采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途

摘要：本发明涉及采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途，尤其涉及在衬底上获得共形超薄的铂的或其合金之一的膜的方法，其可经济地用作异质催化剂，例如汽车聚合物电解质膜(PEM)燃料电池催化剂。该方法包括在铂原子层沉积中使用氢等离子体以及使用钨作为衬底或锚定性粘附层以有助于铂的成核与沉积。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110430219.1

专利申请（专利权）人：通用汽车环球科技运作有限责任公司

专利发明（设计）人：A·孔卡南德;F·T·沃纳;S·M·乔治;L·贝克

主权项：在衬底上成核金属膜的方法，包括：提供具有大于约2.5J/m2的表面能的金属层；以及使用H2等离子体辅助ALD在所述金属层上沉积连续、共形的Pt或Pt合金层，所述Pt或Pt合金层具有小于约4纳米的厚度。

专利地区：美国