静电电容式力传感器专利登记公告

专利名称：静电电容式力传感器

摘要：静电电容式力传感器具有固定板以及安装它的固定部、负荷传递部以及在上述固定部上安装负荷传递部的弹性部，这些部件都用线膨胀系数几乎相等的材料构成。并且，通过将固定在负荷传递部上的位移电极和固定在固定板上的固定电极中的某一方分割成电气独立的三个以上的电极，形成由这些位移电极和固定电极组成的三个以上的电容元件。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110435901.X

专利申请（专利权）人：发那科株式会社

专利发明（设计）人：坂野哲朗;井之上阳一

主权项：一种静电电容式力传感器，其特征在于，具有：在外部的装置或者基部上安装固定的固定部；安装承受来自外部的力作用的物体的负荷安装部；传递对上述负荷安装部施加的力的负荷传递部；在上述固定部和上述负荷传递部之间形成的弹性部；在上述固定部上安装的固定板；在上述负荷传递部的、与上述固定板相向的一侧的面上形成的位移电极；和在上述固定板的、与上述负荷传递部相向的一侧的面上形成的固定电极，通过将上述位移电极或者上述固定电极中的某一方或者它们双方分割成电气独立的三个以上的电极，形成由上述位移电极和上述固定电极组成的三个以上的电

专利地区：日本