具有至少一个MEMS组件的部件及其制造方法专利登记公告

专利名称：具有至少一个MEMS组件的部件及其制造方法

摘要：本发明提出一些措施，这些措施能够成本有利地且节约空间地实现具有MEMS组件和通向MEMS组件的膜片结构的进入通道的部件。所述部件包括MEMS组件，其膜片结构构造在组件上侧中。MEMS组件以组件背面安装在支承件上并至少部分地嵌入到模塑物质中。在模塑物质中构造有进入开口。根据本发明，部件还包括具有至少一个通孔的至少一个另外的半导体组件，其在MEMS组件上方并且与膜片结构间隔开地容纳到模塑物质中，从而在半导体组件与膜片结构之间形成空腔。模塑物质中的进入开口通到半导体组件的通孔中并且与通孔以及半导体组件与膜片结构

专利类型：发明专利

专利号：CN201110439985.4

专利申请（专利权）人：罗伯特·博世有限公司

专利发明（设计）人：R·艾伦普福特;U·肖尔茨

主权项：具有至少一个MEMS组件(1)的部件(10)，其中，在所述MEMS组件(1)的上侧中构造有至少一个膜片结构(11)，其中，所述MEMS组件(1)以组件背侧安装在支承件(2)上，其中，所述MEMS组件(1)至少部分地嵌入到模塑物质(6)中，其中，在所述模塑物质(6)中构造有至少一个进入开口(7)，其特征在于，具有至少一个通孔(4)的至少一个另外的半导体组件(3)在所述第一MEMS组件(1)的上方并且与所述膜片结构(11)间隔开地容纳到所述模塑物质(6)中，使得在所述另外的半导体组件(3)与所述膜片结构(11

专利地区：德国