一种半导体微气压传感器测试系统专利登记公告

专利名称：一种半导体微气压传感器测试系统

摘要：一种半导体微气压传感器测试系统，包括微机控制部分和真空获取部分。微机控制部分包括控制主机、程控电源、驱动电路、测试电路、A/D卡和D/A卡，主机控制程控电源，待测器件的响应信号通过测试电路和A/D卡传递到控制主机；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计，真空腔室分别与质量流量控制器和泵组相连，气体从质量流量控制器流入，从泵组流出，质量流量控制器与D/A卡相连，通过模糊PID控制算法，维持真空腔室内气压平衡，真空计用作待测传感器标定基准。采用本发明可产生纯净气体的动态平衡真空环境，提高了测试

专利类型：发明专利

专利号：CN201110445801.5

专利申请（专利权）人：大连理工大学

专利发明（设计）人：金仁成;刘光;王晓东;郭文泰;唐祯安

主权项：一种半导体微气压传感器测试系统，其特征在于系统包括微机控制部分和真空获取部分；微机控制部分包括控制主机、程控电源、驱动电路、测试电路、A/D卡和D/A卡；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计；控制主机控制程控电源，将电压或电流加载到驱动电路，为待测器件提供四种工作模式，待测器件的响应信号通过测试电路和A/D卡传递到控制主机；真空获取部分包括真空腔室、泵组、质量流量控制器和真空计，真空腔室分别与质量流量控制器和泵组相连，气体从质量流量控制器流入，从泵组流出，质量流量控制器与D/A卡相连，通

专利地区：辽宁