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便携式真空规校准系统及方法专利登记公告


专利名称:便携式真空规校准系统及方法

摘要:本发明涉及便携式真空规校准系统及方法,用于较宽量程范围内现场或实验室真空规的校准或测试,属于测量技术领域。包括机械泵、第一真空阀门、分子泵、第二真空阀门、第一真空规、第二真空规、第三真空规、阀门、第四真空规、小孔、微调真空阀门、气源、真空室和第五真空规;整个系统之间采用管路连接。本发明采用参考标准直接比对校准真空规,当被校准范围在10-1~105Pa时,采用电容薄膜规作为参考标准,当校准范围在10-6~10-2Pa时,采用B-A型副标准电离规作为参考标准,校准过程根据被校准范围选择合适的参考标准并确定真空

专利类型:发明专利

专利号:CN201210027997.0

专利申请(专利权)人:江苏东方航天校准检测有限公司

专利发明(设计)人:卢耀文

主权项:便携式真空规校准系统,其特征在于:包括机械泵(1)、第一真空阀门(2)、分子泵(3)、第二真空阀门(4)、第一真空规(5)、第二真空规(6)、第三真空规(7)、阀门(8)、第四真空规(9)、小孔(10)、微调真空阀门(11)、气源(12)、真空室(13)和第五真空规(14);机械泵(1)与第一真空阀门(2)的一端连接,第一真空阀门(2)的另一端与分子泵(3)的一端连接,分子泵(3)的另一端与第二真空阀门(4)的一端连接,第二真空阀门(4)的另一端与真空室(13)连接;真空室(13)还与第一真空规(5)、第

专利地区:江苏