工件夹具专利登记公告

专利名称：工件夹具

摘要：本发明提供一种工件夹具，能够防止使成膜面朝下而上下颠倒载置的晶片上的沉积膜产生裂纹、毛边、剥离。在蒸镀设备中，在从下方接受并支持搭载晶片（2）的晶片搭载用的工件夹具（3）中，在工件夹具（3）的内周侧的前端部，以平面图为环状的方式设置有檐状的阶梯部（3a）。在环状的工件夹具（3）的阶梯部（3b）上搭载晶片（2），进而，在外周侧的工件夹具（3）的阶梯部（3c）上，搭载其下表面与晶片（2）的上表面抵接并利用自重固定晶片（2）的盖（4）。在阶梯部（3c）上搭载的盖（4）的下表面具有对在阶梯部（3b）上搭载的晶片（

专利类型：发明专利

专利号：CN201110446314.0

专利申请（专利权）人：夏普株式会社

专利发明（设计）人：木下济

主权项：一种基板搭载用的工件夹具，在蒸镀设备中以从下方接受的方式搭载使成膜面朝下的基板，其特征在于，在内径侧的前端部以平面图为环状的方式设置有檐状的阶梯部，使得沉积膜在与该基板之间不连续沉积。

专利地区：日本