一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法专利登记公告

专利名称：一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法

摘要：一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法，属于光学精密装调技术领域，目的是为实现点衍射干涉仪中聚焦光斑与衍射针孔的精确对准和对准状态实时监控而提供的一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法，该装置包括激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、第三分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维扫描微调整机构、第一激光功率计、第二激光功率计、第三激光功率计、位置探测器和计算机；本发明装置和方法提高了对准速度，监控针孔对准状态时便于快速再次对准；本发明采用一个单独的激光功率计探测激光器功率的变

专利类型：发明专利

专利号：CN201110449616.3

专利申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

专利发明（设计）人：张海涛;于杰;马冬梅;金春水

主权项：一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置，其特征在于，该装置包括激光器(1)、激光扩束镜(2)、第一分光棱镜(3)、二分之一波片(4)、第二分光棱镜(5)、第三分光棱镜(6)、四分之一波片(7)、聚焦镜(8)、针孔板(9)、三维扫描微调整机构(10)、第一激光功率计(11)、第二激光功率计(12)、第三激光功率计(13)、位置探测器(14)和计算机(15)；所述激光器(1)发出的光入射到激光扩束镜(2)，光经激光扩束镜(2)扩束准直后入射到第一分光棱镜(3)，经过第一分光棱镜(3)的光一部分透射、另一部分反射到

专利地区：吉林