一种液晶显示面板阵列基板的制作方法专利登记公告
专利名称:一种液晶显示面板阵列基板的制作方法
摘要:一种提升液晶显示面板阵列基板穿透率的制作方法,包括如下步骤,首先提供一基板,依次形成栅极、栅极绝缘层、半导体层、第一透明电极、源极和漏极于该基板上,再形成第一钝化层覆盖该源极、漏极、半导体层和该栅极绝缘层,接着再形成第二钝化层覆盖第一钝化层,最后再形成第二透明电极于该第二钝化层上,其中第一钝化层的沉积功率小于5500瓦,第二钝化层的沉积功率大于5000瓦。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110453765.7
专利申请(专利权)人:深超光电(深圳)有限公司
专利发明(设计)人:许民庆;杨妮;庄塗城;余鸿志
主权项:一种液晶显示面板阵列基板的制作方法,包括如下步骤:提供一基板;依次形成栅极、栅极绝缘层、半导体层、第一透明电极、源极和漏极于该基板上;再形成第一钝化层覆盖该源极、漏极、半导体层和该栅极绝缘层,其中该第一钝化层的沉积功率小于5500瓦;接着再形成一第二钝化层覆盖该第一钝化层,其中该第二钝化层的沉积功率大于5000瓦;然后再形成第二透明电极于该钝化层上。
专利地区:广东
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