包含多酰胺组分的光刻胶专利登记公告

专利名称：包含多酰胺组分的光刻胶

摘要：包含多酰胺组分的光刻胶。提供了包含两个或多个酰胺基团的组分的新的光刻胶组合物。本发明优选的光刻胶可包括具有光致酸不稳定基团的树脂；光致酸产生剂化合物；和多酰胺组份，其可用于减少在光刻胶涂层的非曝光区域中不需要的光生酸扩散。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110455160.1

专利申请（专利权）人：罗门哈斯电子材料有限公司

专利发明（设计）人：G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘骢;C·吴;C-B·徐;吴俊锡

主权项：一种光刻胶组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致酸产生剂化合物；和(c)一种或多种多酰胺化合物。

专利地区：美国