超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法专利登记公告

专利名称：超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法

摘要：本发明公开一种超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，包括以下步骤：1)选择辊压模具，2)辊压模具清洗，3)辊压模具表面涂胶，4)辊压模具前烘处理，5)辊压模具的固定，6)掩膜版的选取和调整，7)曝光。本发明采用曝光拼接的旋转曝光技术，将掩膜版上的光栅微结构图形转移至辊压模具表层的光刻胶上面，显影过后，辊压模具表面形成一层光栅结构图形化掩蔽层，再利用刻蚀或者电铸的方法，将此图形化掩蔽层复制到辊压模具表面上；运用此模具，可以利用辊压印或者逆辊压印的方法，将此表面的光栅微结构连续的复制的光栅尺胚上面，实现

专利类型：发明专利

专利号：CN201110455884.6

专利申请（专利权）人：西安交通大学

专利发明（设计）人：刘红忠;冯龙;史永胜;尹磊;蒋维涛;王良军;刘树林;李烜;杨俊;丁玉成;卢秉恒

主权项：超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1)选择合适的辊压模具：选择圆筒状辊压模具；2)辊压模具表面的清洗：超声波清洗去除辊压模具表面的油污和颗粒杂质；3)辊压模具表面涂胶：采用提拉法在辊压模具表面形成一层均匀的光刻胶；4)辊压模具前烘处理：将辊压模具放入烘箱中前烘，挥发掉光刻胶中的溶剂；5)辊压模具的固定：将辊压模具固定到旋转平台上，并通过调整旋转平台上面XY双向位移调整台，使辊压模具的回转中心线与旋转平台回转中心线重合；6)掩膜版的选取和调整：将具有栅线微结构的掩膜版固定

专利地区：陕西