利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法专利登记公告

专利名称：利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法

摘要：本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记，完成上述操作后用摄像机获取机械手直线输片的视频；S3，基于几何光学基本原理及CCD像素分布参数，计算所述视频的每一帧图像中晶圆相对机械手的位置；S4，逐帧分析对比晶圆相对机械手的位置变化，计算并拟合获得滑移量随时间的变化曲线。本发明能够满足不同精度等级下滑移量检测要求；可为晶圆传输机械手

专利类型：发明专利

专利号：CN201110457188.9

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：陈恳;边柯柯;高雨浩;周于;付翱;付成龙;杨开明;朱煜;孙勇;伍三忠

主权项：一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，其特征在于，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记，完成上述操作后用摄像机获取机械手直线输片的视频；S3，基于几何光学基本原理及CCD像素分布参数，计算所述视频的每一帧图像中晶圆相对机械手的位置；S4，逐帧分析对比晶圆相对机械手的位置变化，计算并拟合获得滑移量随时间的变化曲线。

专利地区：北京