板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台专利登记公告
专利名称：板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台
摘要：本发明提供了板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其能完成硅片输送碳板在设备出料口（或进料口）与底部水平输送线之间的垂直输送，保证硅片上下料的全自动操作。其包括机架，其特征在于：其还包括竖向平移机构和水平输送机构，竖向平移机构通过固定板安装于机架的纵向一侧机架壁，水平输送机构通过连接板安装于竖向平移机构。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110458758.6
专利申请（专利权）人：无锡市奥曼特科技有限公司
专利发明（设计）人：刘晓平;陈平
主权项：板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其包括机架，其特征在于：其还包括竖向平移机构和水平输送机构，所述竖向平移机构通过固定板安装于所述机架的纵向一侧机架壁，所述水平输送机构通过连接板安装于所述竖向平移机构。
专利地区：江苏
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