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非易失性存储装置专利登记公告


专利名称:非易失性存储装置

摘要:本发明包括:第一电极布线(151),被形成为带状;第三层间绝缘层(16);电阻变化层,被形成在覆盖存储单元孔(29)的底部及侧面的区域,且是由缺氧型过渡金属氧化物构成的第一电阻变化层(18a)、和由含氧率与所述第一电阻变化层(18a)不同的缺氧氮型过渡金属氧氮化物构成的第二电阻变化层(18b)的层叠构造体;第一电极(19),被形成在存储单元孔(29)的内部;以及第一布线(22),在至少覆盖存储单元孔(29)的开口的区域,在与第一电极布线(151)交叉的方向上被形成为带状,在将所述过渡金属表示为M、将第一电

专利类型:发明专利

专利号:CN201180004276.1

专利申请(专利权)人:松下电器产业株式会社

专利发明(设计)人:藤井觉;空田晴之;三河巧

主权项:一种非易失性存储装置,包括:第一电极布线,在衬底上被形成为带状;层间绝缘层,被形成在所述第一电极布线以及所述衬底上;存储单元孔,贯通所述层间绝缘层而到达所述第一电极布线;电阻变化层,在所述存储单元孔中,被形成在覆盖所述存储单元孔的底部以及侧面的区域;第一电极,在所述电阻变化层上,被形成在所述存储单元孔的内部;以及第一布线,在所述第一电极以及所述层间绝缘层上,在至少覆盖所述存储单元孔的开口的区域,在与所述第一电极布线交叉的方向上被形成为带状,所述电阻变化层为第一电阻变化层与第二电阻变化层的层叠构造体,所述第

专利地区:日本