柔性半导体装置及其制造方法以及图像显示装置专利登记公告

专利名称：柔性半导体装置及其制造方法以及图像显示装置

摘要：本发明提供一种柔性半导体装置的制造方法。本发明的制造方法包括：准备金属箔的工序(A)；在金属箔形成包括成为栅极绝缘膜的部位在内的绝缘层的工序(B)；在绝缘层上形成支承基板的工序(C)；对金属箔的一部分进行蚀刻，而从金属箔形成源极电极及漏极电极的工序(D)；使用源极电极及漏极电极作为堤部构件，而在位于源极电极与漏极电极之间的间隙形成半导体层的工序(E)；以覆盖半导体层、源极电极及漏极电极的方式在绝缘层上形成树脂膜层的工序(F)。在工序(F)中，使树脂膜层的一部分向位于源极电极与漏极电极之间的间隙嵌合。

专利类型：发明专利

专利号：CN201180004351.4

专利申请（专利权）人：松下电器产业株式会社

专利发明（设计）人：铃木武;平野浩一

主权项：一种柔性半导体装置，具有：栅极电极；设置在所述栅极电极上，且具有成为栅极绝缘膜的部位的绝缘层；以及形成在所述绝缘层上，且由金属箔构成的源极电极及漏极电极，在所述源极电极与所述漏极电极之间存在间隙，由此，隔开该间隙配置的所述源极电极及所述漏极电极成为堤部构件，在所述间隙形成有半导体层，在所述绝缘层上以覆盖所述半导体层、所述源极电极及所述漏极电极的方式形成树脂膜层，在该树脂膜层设有与所述间隙嵌合的突起部。

专利地区：日本