一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法专利登记公告

专利名称：一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法

摘要：本发明公开了一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法，属于半导体薄膜与器件领域，首先将锌盐，硝酸镓溶于甲醇中，并逐滴加入稳定剂单乙醇胺，在磁力搅拌的情况下，60℃水浴1小时，并通过将温度升高到70℃进行溶剂蒸发，蒸发至原体积的40%时获得制备镓掺杂氧化锌薄膜的溶胶。通过提拉法制备镓掺杂的氧化锌薄膜。拉膜后将薄膜在红外灯下烘烤30min，之后进行500℃快速退火15min，完成一次拉膜，按此重复n次，使达到一定厚度，最后室温时效2天，真空600℃退火1小时，最后即得到GZO薄膜。本发明采用玻璃做衬底基板。本

专利类型：发明专利

专利号：CN201210000263.3

专利申请（专利权）人：上海大学

专利发明（设计）人：李倩;李喜峰;张建华

主权项：一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤:a.?溶胶的配制首先将锌盐2水醋酸锌和镓盐5.5水硝酸镓溶于甲醇中，然后在逐滴加入稳定剂单乙醇胺；使溶液中锌离子浓度与单乙醇胺的摩尔比为1，保证Ga2O3:ZnO质量比为3:100；锌离子在溶液中的浓度为0.3?mol/L；在磁力搅拌的情况下，将配制好的溶液水浴60℃，保温1小时；再将水浴温度提高到70℃，进行蒸发溶剂，直到溶胶体积达到原来体积的40%；然后室温时效6小时，冰箱冷藏42小时，形成溶胶；b.?衬底基片的预处理衬底基片玻璃为康宁

专利地区：上海