一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液及清洗方法专利登记公告

专利名称：一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液及清洗方法

摘要：本发明公开了一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液及清洗方法，一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗液由氢氟酸和表面活性剂组成；其中氢氟酸的体积分数为6％-10％，表面活性剂的体积分数为0.016％-0.04％；纯水的体积分数为89.96％--93.984％。将所述的清洗液温度控制在20-30℃之间，然后将硅片放入清洗液中的反应时间为200-400s。使用本发明方法能够更好将扩散产生磷硅玻璃清洗干净，并能够通过化学方法彻底解决槽式去磷硅设备在PECVD镀膜后产生的花篮齿印及由于慢提拉拉不干引起的其他问题。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210002453.9

专利申请（专利权）人：天长吉阳新能源有限公司

专利发明（设计）人：孙良欣;陈壁涛;农艳芬

主权项：一种晶体硅太阳电池去磷硅清洗方法，其特征在于含有以下步骤：(1)配制晶体硅太阳电池去磷硅清洗液，由氢氟酸和表面活性剂组成；其中氢氟酸的体积分数为6％?10％，表面活性剂的体积分数为0.016％?0.04％，纯水的体积分数为89.96％??93.984％；将所述的清洗液温度控制在20?30℃之间，然后将硅片放入清洗液中的反应时间为200?400s；(2)清水槽洗掉硅片上残留的清洗液，工艺时间为20?50s；(3)慢提拉脱水；(4)放入烘箱将硅片烘干。

专利地区：安徽