大面积均匀等离子体电子密度控制系统专利登记公告

专利名称：大面积均匀等离子体电子密度控制系统

摘要：本发明公开了一种大面积均匀等离子体电子密度控制系统，主要解决目前等离子体电磁波传播实验装置中电子密度不可连续调节、长时间稳定性差和控制精度低的问题。整个系统包括等离子体产生腔体(1)、诊断装置(2)、电源装置(3)、真空装置(4)和控制装置(5)，控制装置(5)通过读取诊断装置(2)测得的电子密度值，与预设的电子密度值比较，并根据比较的差值输出电压或气压控制信号，调节电源装置(3)的输出功率或真空装置(4)的设定气压值，使等离子体电子密度稳定在预设值范围内。本发明利用反馈控制原理，实现了对大面积均匀等离子

专利类型：发明专利

专利号：CN201210006362.2

专利申请（专利权）人：西安电子科技大学

专利发明（设计）人：李小平;谢楷;刘彦明;刘东林;石磊;杨敏;高平

主权项：一种大面积均匀等离子体电子密度控制系统，包括：等离子体产生腔体(1)、电源装置(3)和真空装置(4)，电源装置(3)和真空装置(4)分别与等离子体产生腔体(1)连接，真空装置(4)用于对等离子体产生腔体(1)进行抽气和充气，调整腔体内气压和气体组分；电源装置(3)用于对等离子体产生腔体(1)内的气体做功，产生等离子体，其特征在于，还包括一个诊断装置(2)和一个控制装置(5)，该诊断装置(2)与等离子体产生腔体(1)连接，该控制装置(5)分别与诊断装置(2)、电源装置(3)和真空装置(4)连接；诊断装置(2

专利地区：陕西