一种在硅片表面制备石墨烯复合薄膜的方法专利登记公告
专利名称:一种在硅片表面制备石墨烯复合薄膜的方法
摘要:本发明涉及一种在硅片表面制备石墨烯复合薄膜的方法,先对制作好PN结的硅片进行表面处理,将其作为基底材料,在其表面采用自组装法制备氨基硅烷,然后将基片放入氧化石墨烯分散液中,在其表面制备氧化石墨烯复合薄膜。与现有技术相比,本发明工艺简单,成本低,可以提高太阳能电池片的光电性能,有望成为光伏产业理想的光电转换材料。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210009144.4
专利申请(专利权)人:上海交通大学
专利发明(设计)人:程先华;雷子恒;王传英;程海正;疏达
主权项:一种在硅片表面制备石墨烯复合薄膜的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)首先将硅片浸泡在王水中加热5~6小时,在室温中自然冷却后取出,冲洗、干燥后浸于体积比为H2SO4∶H2O2=70∶30的溶液中,于室温下处理1小时,用去离子水超声清洗后放在防尘装置内在烘箱中干燥,然后将处理后的硅片浸入氨基硅烷浓度为0.1~1.0mmol/L的乙醇溶液中,超声3分钟,静置水解0.5~1h取出,用无水乙醇、去离子水洗涤,并在N2下干燥;将所得硅片置于烘箱内90℃保温处理90min,然后浸入三氯氧化磷溶液中,反应2h
专利地区:上海
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