BaTi₂O₅薄膜择优取向生长的制备方法专利登记公告

专利名称：BaTi₂O₅薄膜择优取向生长的制备方法

摘要：本发明涉及BaTi2O5薄膜择优取向生长的制备方法，包括有以下步骤：1)制得钡源溶液；2)将稀释，搅拌，冷却至室温，得到钡源溶液的稀释液；3)加到液态有机钛源中，搅拌、混合，得到含钡钛的混合溶液；4)将溶液中Ba2+浓度定为0.05～0.15mol/L，搅拌，陈化，得到前驱体溶胶；5)将前驱体溶胶滴到单晶基板上，在匀胶机上对前驱体溶胶进行匀胶，得到湿膜，热解，得到非晶单层薄膜；6)置于快速退火炉中，晶化，得到晶化单层薄膜；7)重复步骤5)和步骤6)多次，即可。本发明的有益效果是：本发明提供的方法实施方便，

专利类型：发明专利

专利号：CN201210009541.1

专利申请（专利权）人：武汉理工大学

专利发明（设计）人：戴英;杨磊;杨莹;裴新美;陈文

主权项：BaTi2O5薄膜择优取向生长的制备方法，其特征在于包括有以下步骤：1)?称取钡源原料，在60～80℃水浴条件下溶解于乙酸中，得到钡源溶液；2)?将步骤1)所得钡源溶液中加入乙二醇甲醚稀释，然后在60～80℃下充分搅拌，冷却至室温，得到钡源溶液的稀释液；3)将步骤2)所得钡源溶液的稀释液加到液态有机钛源中，其中按摩尔比计Ba:Ti=1:2，充分搅拌、混合，得到含钡钛的混合溶液；4)?向步骤3)所得的含钡钛的混合溶液中加入乙二醇甲醚，将溶液中Ba2+浓度定为0.05～0.15mol/L，搅拌，陈化，得到澄清

专利地区：湖北