一种轮廓的显微方法和装置专利登记公告

专利名称：一种轮廓的显微方法和装置

摘要：本发明公开了一种轮廓的显微方法和装置。装置包括激光器、单模光纤、第一准直透镜、第一偏振片、第一偏振分束器、四分之一波片、第二透镜、第三透镜、二分之一波片、第二偏振分束器、第一探测光纤、第二探测光纤、差分探测器、主控计算机、纳米平移台和用于放置待测样品的样品平台。本发明通过横向差分获得物体的轮廓像，有效提高系统的横向分辨率。本发明结构简单，横向分辨率提高显著，可以达到200nm以下，可用于光学显微领域以及纳米级别的高精度检测、测量和制造等领域。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210014230.4

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：匡翠方;王轶凡;刘旭

主权项：一种轮廓的显微方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)激光器发射出光束，经单模光纤耦合和第一准直透镜准直，得到准直光束；所述准直光束经第一偏振片调制为平行线偏振光，所述平行线偏振光经由第一偏振分束器全部透射后，再经四分之一波片调制为圆偏振光；所述圆偏振光经第二透镜聚焦到样品平台；(2)所述样品平台的表面发生反射和散射，得到的反射光和散射光沿原光路逆向返回，先被所述第二透镜收集，再经过所述四分之一波片调制为垂直线偏振光；所述垂直线偏振光经由所述第一偏振分束器全部反射形成第一反射光，所述第一反射光经由第三透镜聚

专利地区：浙江