一种凸非球面光学元件的面型检测装置专利登记公告
专利名称:一种凸非球面光学元件的面型检测装置
摘要:一种凸非球面光学元件的面型检测装置,涉及一种光学元件的检测装置。设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统;反射镜设于光源光束前方,检测平台设于反射镜前方,接收镜设于光学元件前方,分析处理系统设于接收镜前方;检测平台自下而上依次设有垂直运动、摆动和回转机构;垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽;摆动机构设有第3支承油腔、静压止推轴承、转轴、C轴工作台、摆动平台和伺服电机;回转机构设有马达和A轴工作台。结构简单,无机械效率损失,输出扭矩大,实现高定位精
专利类型:发明专利
专利号:CN201210018650.X
专利申请(专利权)人:厦门大学
专利发明(设计)人:彭云峰;林建华;郭隐彪;董之然;白志扬
主权项:一种凸非球面光学元件的面型检测装置,其特征在于设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统;所述反射镜设于光源的出射光束前方,检测平台设于反射镜的反射光束前方,接收镜设于被测光学元件的反射光束前方,分析处理系统设于接收镜的反射光束前方;所述检测平台自下而上依次设有垂直运动机构、摆动机构和回转机构;所述垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽;所述微调楔块位于底座上,连接板固定在微调楔块上,连接板与丝杆电机通过滚珠丝杆连接;所述升降台由微调楔块支撑,附在升降
专利地区:福建
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