一种光刻机化学品接口系统及其应用专利登记公告

专利名称：一种光刻机化学品接口系统及其应用

摘要：本发明提供的光刻机化学品接口系统改进了硬件，在机台端长管顶部增加了可拆下的称钥匙圆环，钥匙圆环也带有突起与原设计内置突起一样；并增加了内置突起厚度。化学品瓶口设计为两个缺口一致的圆环：上部圆环、下部圆环，上部圆环可转动。更换化学品时，将钥匙圆环拆下插入上部圆环，当钥匙圆环的突起和上部圆环环缺口吻合，可用钥匙圆环旋转上部圆环，使之缺口和下部圆环缺口重合；移除钥匙圆环，机台端的长管可插入新的化学品瓶内，完成安装新的化学品。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210014981.6

专利申请（专利权）人：上海华力微电子有限公司

专利发明（设计）人：何伟明;朱治国

主权项：一种光刻机化学品接口系统，其特征在于，包括连接化学品的瓶口，所述瓶口设计为两个上下相邻的同心圆环，上部圆环可以绕圆心旋转，上部圆环和下部圆环设有对齐的缺口，并且上部圆环的缺口连通下部圆环的缺口；还包括连接机台长管的长管顶部，所述长管顶部设有可拆下的钥匙圆环；钥匙圆环设有与所述同心圆环缺口相吻合的突起；所述长管顶部还包括内置突起圆环，内置突起圆环的内置突起与钥匙圆环的突起相同。

专利地区：上海