一种掩模板防静电环专利登记公告
专利名称：一种掩模板防静电环
摘要：本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模板防静电环。本发明一种掩模板防静电环，通过将掩模板防静电环的拐角内角设置为钝角或圆弧形状，能有效的避免尖端放电，从而保护了掩模板内部的图形不受静电的破坏。
专利类型：发明专利
专利号：CN201210014991.X
专利申请（专利权）人：上海华力微电子有限公司
专利发明（设计）人：魏芳;阚欢
主权项：一种掩模板防静电环，包括一掩模板防静电环本体，其特征在于，将该掩模板防静电环的拐角内角设置为至少两个钝角形状或圆弧形状。
专利地区：上海
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目，不代表该专利由我公司代理取得，上述专利权利属于专利权人，未经（专利权人）许可，擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利，请搜索专利权人联系方式，获得专利权人的授权许可。