液处理装置及液处理方法专利登记公告

专利名称：液处理装置及液处理方法

摘要：本发明提供一种液处理装置及液处理方法，其能够防止由附着在用于支承喷嘴的喷嘴支承臂上的污垢污染处理室内的基板。液处理装置(10)包括：处理室(20)，其在内部设有用于保持基板(W)的基板保持部(21)和配设在该基板保持部(21)的周围的杯(40)；喷嘴(82a)，其用于向保持在基板保持部(21)的基板W供给流体；喷嘴支承臂，其用于支承喷嘴(82a)。在液处理装置(10)中设有用于对喷嘴支承臂(82)进行清洗的臂清洗部(88)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210016401.7

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：东岛治郎;八谷洋介;相浦一博;伊藤规宏;新藤尚树;伊藤优树

主权项：一种液处理装置，其特征在于，该液处理装置包括：处理室，其在内部设有用于保持基板的基板保持部和配设在该基板保持部的周围的杯；喷嘴，其用于向保持在上述基板保持部的基板供给流体；喷嘴支承臂，其用于支承上述喷嘴；臂清洗部，其用于对上述喷嘴支承臂进行清洗。

专利地区：日本