一种单模大功率太赫兹量子级联激光器及其制作工艺专利登记公告

专利名称：一种单模大功率太赫兹量子级联激光器及其制作工艺

摘要：本发明提供一种单模大功率太赫兹量子级联激光器及其制作工艺，所述单模大功率太赫兹量子级联激光器包括位于中心的二维光子晶体波导和环绕二维光子晶体波导分布的一阶光栅波导。本发明所述的单模大功率太赫兹量子级联激光器大大增加了中心区域波导的太赫兹激光的输出功率，保证了太赫兹激光的单模窄线宽，只反馈激光器设定的工作模式，抑制横向高次模，同时还提高了光子晶体谐振腔的品质因子。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210023654.7

专利申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

专利发明（设计）人：曹俊诚;万文坚;韩英军

主权项：一种单模大功率太赫兹量子级联激光器，其特征在于：所述单模大功率太赫兹量子级联激光器包括位于中心的二维光子晶体波导和环绕二维光子晶体波导分布的一阶光栅波导。

专利地区：上海