一种投影光刻机的硅片台对准机构专利登记公告

专利名称：一种投影光刻机的硅片台对准机构

摘要：本发明是一种投影光刻机的硅片台对准机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副、光孔、传动杆、楔块、导轨副、导轨；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，楔块位于导轨上并与调节螺栓前端接触，楔块与传动杆接触，传动杆位于基座的光孔上，拉簧的左端套在硅片台上，拉簧的右端挂在基座上，硅片台始终与传动杆保持接触。本发明能够对投影光刻机中的硅片台进行精确的角度调整，以满足光刻机的套刻精度要求。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210026710.2

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：胡淘;胡松;邢薇;徐文祥

主权项：一种投影光刻机的硅片台对准机构，其特征在于包括：拉簧(1)、硅片台(2)、止推轴承(3)、基座(4)、调节螺栓(5)、螺纹副(6)、光孔(7)、传动杆(8)、楔块(9)、导轨副(10)和导轨(11)；硅片台(2)位于止推轴承(3)上，调节螺栓(5)被固定在基座(4)的螺纹副(6)内，拉簧(1)的左端套在硅片台(2)的弹簧拉杆上，拉簧(1)的右端挂在基座(4)上，调节螺栓(5)的前端顶在楔块(9)上，楔块(9)通过导轨副(10)与导轨(11)连接，楔块(9)的斜面保持与传动杆(8)接触，传动杆(8)被固定在

专利地区：四川