大尺寸蓝宝石单晶的制备方法专利登记公告

专利名称：大尺寸蓝宝石单晶的制备方法

摘要：本发明公开了一种大尺寸蓝宝石单晶的制备方法，它包括准备工作、烘烤籽晶和引晶三个步骤，由于提高了引晶炉中的真空度，使得原料在2150℃温度条件下更容易彻底熔化，这样能大幅度缩短保温时间2～3小时，缩短了准备拉晶的时间，极大地降低了生产能耗，为后续工步提供了更适宜的条件，缩短保温时间更利于使熔体内冷心位置与坩埚几何中心重合，省了缩径工步，可缩短工时20～45分钟；简化了拉晶工步，只要匀速连续提拉，在拉晶过程中籽晶作等速率变速转动，不需要多次拉晶，拉晶速度快，结晶过程平稳，熔体结晶率高，所得蓝宝石晶体品质稳定，

专利类型：发明专利

专利号：CN201210028306.9

专利申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司

专利发明（设计）人：刘世杰

主权项：一种大尺寸蓝宝石单晶的制备方法包括如下步骤：第一步，准备工作：(1)将纯度为99.996％的高纯氧化铝原料装入单晶炉坩埚内，在籽晶杆上安装好方籽晶，关闭单晶炉盖，启动冷却水循环系统；(2)启动真空系统，使炉内压力达到10?4Pa；(3)启动加热系统，调节加热电压，加热升温，使原料全部熔化，在2152℃～2155℃温度条件下保温1?2小时，保温结束后调节加热电压降温至2058℃，观察熔体液面状态，熔体内冷心位置与坩埚几何中心相对偏差小于5mm；(4)启动辅助调温系统，调节炉内温度场，使熔体内冷心位置与坩埚几

专利地区：江苏