一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法专利登记公告

专利名称：一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法

摘要：本发明涉及一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法，包括以下步骤：对原始光纤进行预处理；将预处理后的光纤的固定在聚焦离子束系统的样品台上，调整样品台的方位，使聚焦离子束系统的离子束出射方向垂直于光纤的中心轴，启动聚焦离子束系统对光纤的端面进行铣削，使其端面光滑平整；调整样品台的方位，使聚焦离子束的出射方向垂直光纤的末端面，将圆环状灰度图转换成.bmp文件通过计算机输到聚焦离子束系统的图形发生器中对光纤末端的圆柱面进行逐层铣削；改变聚焦离子束系统的加工参数，将其处于精铣削的状态，将锥角灰度图转换成.bmp文

专利类型：发明专利

专利号：CN201210031361.3

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：邵天敏;张少婧;刘佳琛;王惠;刘大猛

主权项：一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法，包括以下步骤：1)设置一包括有放置氢氟酸溶液的容器，放置无水乙醇的容器、放置去离子水的容器、离子溅射镀膜仪、计算机和聚焦离子束系统的制备光纤探针装置；2)对原始光纤进行预处理，包括以下步骤：①将待处理的原始光纤浸没在设置有氢氟酸溶液的容器中进行腐蚀，腐蚀完成后将其取出；②将经所述氢氟酸溶液腐蚀后的光纤依次放置到设置有无水乙醇和去离子水的容器中分别进行清洗，清洗完成后将其取出；③将清洗后的光纤放置到所述离子溅射镀膜仪的样品台上，打开所述离子溅射镀膜仪对光纤表面进行喷

专利地区：北京