载置装置专利登记公告

专利名称：载置装置

摘要：本发明提供一种载置装置，能够实现用于冷却被载置在载置体上的被处理体的冷却机构的省空间化以及低成本化。本发明的载置装置(10)包括：晶圆吸盘(11)，其为了对晶圆(W)进行电气特性检查而用于载置晶圆(W)；以及冷却机构(12)，其用于经由晶圆吸盘(11)冷却晶圆(W)，冷却机构(12)包括：热交换器(121)，其设于晶圆吸盘(11)的下表面；以及冷却装置(122)，其具有用于从热交换器(121)的热介质(121A)吸热的吸热部(122A)，冷却装置(122)借助吸热部(122A)固定于热交换器(121)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210034736.1

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：山田浩史

主权项：一种载置装置，其特征在于，该载置装置包括：载置体，其为了对被处理体实施规定的处理而用于载置上述被处理体；以及冷却机构，其用于经由上述载置体冷却上述被处理体，上述冷却机构包括：热交换器，其设于上述载置体的下表面；以及冷却装置，其具有用于从上述热交换器的热介质吸热的吸热部，上述冷却装置借助上述吸热部固定在上述热交换器上。

专利地区：日本