自动循环等离子气相沉积系统专利登记公告

专利名称：自动循环等离子气相沉积系统

摘要：本发明公开一种自动循环等离子气相沉积系统，包括预热室、至少一个等离子气相沉积室、冷却室和清洗室，预热室、等离子气相沉积室和冷却室通过第一导轨依次连接，清洗室与冷却室平行设置且底部设置第二导轨，第一导轨的两端分别通过入室导轨和出室导轨与第一输送带和第二输送带连接，第一导轨、第二导轨、第一输送带和第二输送带形成长方形结构；预热室、等离子气相沉积室、冷却室和清洗室分别外接有抽真空机构；相邻两个真空室之间设有真空锁。本自动循环等离子气相沉积系统是针对大面积工件的表面处理而提出的，克服了传统工艺只能应用于表面积较小

专利类型：发明专利

专利号：CN201210035962.1

专利申请（专利权）人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司

专利发明（设计）人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓

主权项：自动循环等离子气相沉积系统，其特征在于，包括预热室、至少一个等离子气相沉积室、冷却室和清洗室，预热室、等离子气相沉积室和冷却室通过第一导轨依次连接，清洗室与冷却室平行设置，清洗室底部设置第二导轨，第一导轨的两端分别设置入室导轨和出室导轨，入室导轨与第一输送带连接并相互垂直设置，出室导轨与第二输送带连接并相互垂直设置，第一导轨、第二导轨、第一输送带和第二输送带形成长方形结构；预热室、等离子气相沉积室、冷却室和清洗室分别外接有抽真空机构；预热室与等离子气相沉积室的相接处和等离子气相沉积室与冷却室的相接处分别设

专利地区：广东