一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置专利登记公告
专利名称：一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置
摘要：本发明公开了一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置，包括底板，其特征在于：还包括挡板腔体及与挡板腔体联通的挡板连杆，挡板连杆与挡板腔体内设置冷却循环装置，所述挡板连杆的杆身动密封设置在底板上。本装置由于阻挡制备初期非超硬膜在基底上的沉积，因而提高了超硬膜成核密度，提高了膜基附着力，并减小了所制备超硬膜的内应力，提高了其机械性能。
专利类型：发明专利
专利号：CN201210036700.7
专利申请（专利权）人：南京航空航天大学
专利发明（设计）人：李文帅;相炳坤;朱其豹;庆振华
主权项：一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置，包括底板，其特征在于：还包括挡板腔体及与挡板腔体连通的挡板连杆，挡板连杆与挡板腔体内设置冷却循环装置，所述挡板连杆的杆身动密封设置在底板上。
专利地区：江苏
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