基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列专利登记公告

专利名称：基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列

摘要：本发明公开了一种基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列。仿生柔性触觉传感阵列从下至上依次由柔性基底层、电容层、压阻层和表面封装层构成。在传感阵列中同时集成了基于压阻式和电容式两种触觉力敏感构件，压阻式力敏感层层叠在电容式力敏感层上，压阻层空间分辨率为1mm，电容层空间分辨率为2mm。压阻式力敏感层电路为矩阵电路，矩阵电路每个节点上为半月形电极与条形电极，两个电极之间通过PDMS导电橡胶相连。电容式力敏感层电路为矩阵电路，矩阵电路的下层构成电容下极板，上层构成电容上极板，两极板间为具有表面图案的PDM

专利类型：发明专利

专利号：CN201210037651.9

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：梅德庆;梁观浩;汪延成;戴宇;陈子辰

主权项：一种基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列，其特征在于：仿生柔性触觉传感阵列从下至上依次由柔性基底层(1)、电容层(2)、压阻层(3)和表面封装层(4)，四层结构层叠在一起构成；其每层的结构如下：(a)?柔性基底层(1)：从下至上依次由硅片(5)、PDMS柔性基底(6)和PDMS导电橡胶屏蔽层(7)叠在一起构成；(b)电容层(2)：从下至上依次由其上表面附有Ti/Au电容下电极(9)的第一PI电极衬底(8)、其上表面经图案化为四棱锥小区域(22)的四棱锥介电层(10)和其上表面附有Ti/Au电容上层

专利地区：浙江