一种微型电容式力学传感器及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种微型电容式力学传感器及其制备方法

摘要：本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空，固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构，可以通过调节微型电容值的变化范围，适用于不同领域的测量，具有灵敏度高，动态性能好，能量损耗小，制备成本低的特点，并且能够适应较为恶劣的环境。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210044921.9

专利申请（专利权）人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

专利发明（设计）人：张珽;刘瑞

主权项：一种微型电容式力学传感器，其特征在于，它包括衬底、固定电极、固态介质层和可动电极，所述固定电极固定设置于衬底上，所述固态介质层叠设在固定电极上，所述可动电极经弹性导电支撑结构平行悬设于固态介质层上方，且固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。

专利地区：江苏