一种多层非晶透明导电薄膜专利登记公告

专利名称：一种多层非晶透明导电薄膜

摘要：本发明公开的多层非晶透明导电薄膜，包括衬底，在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。采用脉冲激光沉积法或是磁控溅射法制备。本发明的多层非晶透明导电薄膜具有很低的电阻率，同时保持较高的可见光透过率，光电综合性能优异，而且表面粗糙度低，易于大面积均匀制备和工艺刻蚀，可应用于显示器件、发光器件、太阳能电池等领域，特别是柔性器件领域。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210039235.2

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：吕建国;吴萍;张杰;叶志镇;张焱

主权项：一种多层非晶透明导电薄膜，其特征在于包括衬底（1），在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。

专利地区：浙江