一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法专利登记公告

专利名称：一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法

摘要：本发明公开了一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备，或者，选择衬底，在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极；采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，或者制备栅介质层及输入端电极，进行第二次退火处理，从而制备底栅结构或者顶栅结构的反相器；本发明制备方法简单可控，制备的双极性氧化亚锡反相器可同时工作在第一和第三象限，且具有

专利类型：发明专利

专利号：CN201210040980.9

专利申请（专利权）人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

专利发明（设计）人：曹鸿涛;梁凌燕;刘志敏

主权项：一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：1)选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备；2)采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；3)制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，完成底栅结构的双极性氧化亚锡反相器的制备；或者，a)选择衬底，在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极；b)采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；c)制备栅介质层及

专利地区：浙江