旋转基板支撑件及其使用方法专利登记公告

专利名称：旋转基板支撑件及其使用方法

摘要：本发明揭示一种利用旋转基板支撑件处理一基板的方法及设备。于一实施例中，用于处理基板的设备包括一处理室，其中设有一基板支撑组件。该基板支撑组件包括一基板支撑件，该基板支撑件具有一支撑表面及一加热器，该加热器设于支撑表面下方。一轴部耦接至该基板支撑件，且马达经由一转子(rotor)耦接至该轴部，以使基板支撑件转动。密封块则设于该转子周围并与的形成密封。密封块具有至少一密封件及至少一通道，沿该密封块与该轴部间的接口处设置。各通道耦接有端口以连接至泵。升举机构耦接至该轴部以提升与下降基板支撑件。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210041686.X

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：J·斯密斯;A·特安;R·S·伊叶尔;S·佐伊特;B·特兰;N·梅里;A·布莱烙夫;小罗伯特·谢杜;R·安德芮斯;F·罗伯茨;T·斯密克;G·拉玎

主权项：一种用于处理基板的设备，包括：处理室；基板支撑件，该基板支撑件包括设置于该处理室中的轴部；加热器，该加热器与该基板支撑件耦合；第一马达，该第一马达提升与下降该基板支撑件；以及第二马达，该第二马达向该基板支撑件提供旋转运动，其中该第一马达耦合至框架，该框架罩住该第二马达，该第二马达通过转子耦合至该轴部，以及包含多个密封件的密封块置于该转子周围。

专利地区：美国