腔室组件和具有它的金属有机化合物化学气相沉积设备专利登记公告

专利名称：腔室组件和具有它的金属有机化合物化学气相沉积设备

摘要：本发明公开了一种腔室组件，包括：腔室外筒，所述腔室外筒内限定有用作反应腔的外筒腔；感应线圈，所述感应线圈环绕所述腔室外筒设置；和石墨套筒，所述石墨套筒套设在所述腔室外筒的外筒腔内。根据本发明实施例的腔室组件，通过在托盘与感应线圈之间设有石墨套筒，石墨套筒比托盘更靠近感应线圈，因此使石墨套筒在托盘之前被感应线圈感应加热，从而石墨套筒可在托盘的周围形成一个热壁，进而使得托盘非常易被加热并保温，提高了感应加热效率。本发明还公开了一种具有上述腔室组件的金属有机化合物化学气相沉积设备。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010586605.5

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：周卫国

主权项：一种腔室组件，其特征在于，包括：腔室外筒，所述腔室外筒内限定有用作反应腔的外筒腔；感应线圈，所述感应线圈环绕所述腔室外筒设置；和石墨套筒，所述石墨套筒套设在所述腔室外筒的外筒腔内。

专利地区：北京