加热控制方法、装置和系统、以及PECVD设备专利登记公告

专利名称：加热控制方法、装置和系统、以及PECVD设备

摘要：本发明的实施例提供了一种加热控制方法、装置和系统、以及PECVD设备，涉及半导体技术领域，为能够有效减少加热时间，提高生产效率而发明。所述加热控制方法，包括：获取被加热物的当前温度；启动加热器对所述被加热物进行加热；检测所述加热器的温度是否达到预先设定的目标温度；当检测到所述加热器的温度达到所述目标温度后，控制所述加热器的温度持续稳定在所述目标温度一特定时间，其中，所述特定时间根据所述被加热物的当前温度和所述预先设定的目标温度所确定，且所述特定时间随着所述被加热物的当前温度的升高而逐渐减小；关闭所述加热器

专利类型：发明专利

专利号：CN201010591222.7

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：付金生

主权项：一种加热控制方法，其特征在于，包括：获取被加热物的当前温度；启动加热器对所述被加热物进行加热；检测所述加热器的温度是否达到预先设定的目标温度；当检测到所述加热器的温度达到所述目标温度后，控制所述加热器的温度持续稳定在所述目标温度一特定时间，其中，所述特定时间根据所述被加热物的当前温度和所述预先设定的目标温度所确定，且所述特定时间随着所述被加热物的当前温度的升高而逐渐减小；关闭所述加热器，以结束加热。

专利地区：北京