晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法专利登记公告
专利名称:晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法
摘要:一种晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法,包括:步骤1:在绝缘的衬底上通过光刻,电子束蒸发方法制作图形金属电极;步骤2:在绝缘衬底上的金属电极的位置植金球,该金球为间隔设置,将已划裂分选的芯片焊接在植金球的金属电极的位置;步骤3:通过打线工艺,采用金属线将芯片和相邻未植金球的金属电极连接;步骤4:在已制作好的模具上涂上脱模剂,注入按预定比例混合的荧光粉和硅胶;步骤5:将芯片对准模具模孔,压合绝缘衬底同模具,放入烘箱一预定时间;步骤6:分离模具与绝缘衬底,完成晶圆级垂直结构发光二极管的封装。本方法有利于简化封
专利类型:发明专利
专利号:CN201210043833.7
专利申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
专利发明(设计)人:汪炼成;郭恩卿;谢海忠;伊晓燕;王国宏
主权项:一种晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法,包括:步骤1:在绝缘的衬底上通过光刻,电子束蒸发方法制作图形金属电极;步骤2:在绝缘衬底上的金属电极的位置植金球,该金球为间隔设置,将已划裂分选的芯片焊接在植金球的金属电极的位置;步骤3:通过打线工艺,采用金属线将芯片和相邻未植金球的金属电极连接;步骤4:在已制作好的模具上涂上脱模剂,注入按预定比例混合的荧光粉和硅胶;步骤5:将芯片对准模具模孔,压合绝缘衬底同模具,放入烘箱一预定时间;步骤6:分离模具与绝缘衬底,完成晶圆级垂直结构发光二极管的封装。
专利地区:北京
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