释放舱与被测试物接触的表面的处理方法专利登记公告
专利名称:释放舱与被测试物接触的表面的处理方法
摘要:本发明公开了一种释放舱与被测试物接触的表面的处理方法,该方法包括以下步骤:(一)所述各部件由不锈钢或玻璃加工而成,部件为不锈钢构件时,先用酸氧化,再用有机溶剂及水清洗,或者氧化后进行电解,再用有机溶剂及水清洗;部件为玻璃构件时,采用HCL或HF腐蚀,或采用物理方法使部件表面粗糙化;(二)在经过步骤(一)清洗后的部件的表面加工去活层,或者先在经过步骤(一)清洗后的部件的表面加工中间层,然后在中间层的表面加工去活层。降低了表面吸附力,能大大减少被测试物吸附在舱体内壁及各部件与被测试物接触的表面上,使得从采样管
专利类型:发明专利
专利号:CN201210049393.6
专利申请(专利权)人:东莞市升微机电设备科技有限公司
专利发明(设计)人:夏可瑜
主权项:一种释放舱与被测试物接触的表面的处理方法,该释放舱包括以下部件:舱体(1),与舱体(1)连接的舱门(2)、进气管(4)、排气管(5)、采样管(6),装设在舱体(1)内的搅拌风机(7),风道板(8),该方法用于对所述舱体(1)、舱门(2)、进气管(4)、排气管(5)、采样管(6)、搅拌风机(7)及风道板(8)中至少一部件与被测试物接触的表面的进行处理,其特征在于,包括以下步骤:(一)、所述各部件由不锈钢或玻璃加工而成,部件为不锈钢构件时,先用酸氧化,再用有机溶剂及水清洗,或者氧化后进行电解,再用有机溶剂及水
专利地区:广东
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