悬浮式涂敷装置专利登记公告

专利名称：悬浮式涂敷装置

摘要：本发明提供悬浮式涂敷装置。本发明的课题是以短时间简便地进行可分解的悬浮台的再组装作业中的高度调整。在该抗蚀剂涂敷装置的悬浮台(10)，出口侧的工作台块(SBa)通过多个支柱(18)和调节器(20)被安装在能够独立输送的台座(FLA)上。中间的三个工作台块(SBb)、(SBc)、(SBd)通过多个支柱(22)、(24)、(26)和调节器(28)、(30)、(32)被分别安装在能够独立输送的台座(FLB)上。出口侧的工作台块(SBe)通过多个支柱(34)和调节器(36)被安装在能够独立输送的台座(FLC)上。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210050161.2

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：稻益寿史;宫崎文宏

主权项：一种悬浮式涂敷装置，其包括：悬浮台，其将第一粗略悬浮区域、精密悬浮区域和第二粗略悬浮区域沿输送方向依此顺序设置为一列，在所述精密悬浮区域，使基板以适合进行涂敷处理的精密的第一悬浮高度悬浮在空中，在所述第一粗略悬浮区域和第二粗略悬浮区域，使所述基板以比所述第一悬浮高度大且粗略的第二悬浮高度悬浮在空中；基板输送部，其将悬浮在所述悬浮台上的所述基板以能够装卸的方式保持并将所述基板从所述第一粗略悬浮区域通过所述精密悬浮区域输送至所述第二粗略悬浮区域；和处理液供给部，其具有在所述精密悬浮区域内向所述基板的被处理面排

专利地区：日本